仪器名称：高能气体离子源 型号：Kaufman-100

仪器技术指标：

引出栅口径：Φ100 mm； 引出电压：10 kV～100 kV连续可调；

离子束流：1～8 mA连续可调； 工作距离：到样品台的距离为523 mm； 离子束斑直径≥Φ100 mm；

工作真空度：5×10^-3Pa～1×10^-2Pa； 采用1路质量流量计和高真空截止阀，实现对离子源的供气；

适用气体：惰性气体（氩气、氦气），氮气，氢气，甲烷，乙炔等。

高能气体离子束源是利用稀薄气体中的高频放电现象使气体电离，并通过电场加速离子，从而获得的高能量离子束的装置，与离子束镀膜装置组合，具有单元离子注入、多元离子注入、离子注入与沉积的复合等功能。已广泛应用于航空航天、生物医学、半导体、机械制造等领域的精密部件的表面改性处理，显著改善材料表面的耐磨、耐蚀、抗疲劳、降低摩擦系数或改善生物效应等性能，起到表面强化作用，获得优异的表面性能。